是就晶圆外周成形及notch成形进行倒角的设备。本设备是根据高精度的数字控制方式研制而成的，能精确且高效率的加工晶片，每台装置配有两个研削部，每个研削部均有粗磨...

可抛光8”以及12”晶圆的外周。本设备抛光鼓安装风叶和杠杆机构，当抛光鼓旋转时，风的阻力作用在风叶上，带动杠杆产生摆动，从而贴在杠杆上的抛光布压向硅片的力大小产...